滑動式管式快速退火爐兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/m。為取得較快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。

可選擇單設定點或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結構，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標較高，處于國內先進水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。

適用范圍：可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下，對樣品進行快速熱處理，主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。

特點：

1、多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕

重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結的要求。

2、爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工

具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學穩(wěn)定性好、電絕緣性好。

3、雙層內膽爐殼，配有風冷系統(tǒng)，快速升降溫

整個爐體采用雙層內膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。

4、法蘭采用雙環(huán)密封技術

有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。

5、內嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長

加熱元件采用內嵌式合金電熱絲，發(fā)熱效率高、耐高溫、抗具氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。

6、微電腦PID控制器，操作簡便

操作簡便，控溫準確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復雜的試驗過程，真正實現(xiàn)自動控制和運行。

爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。

爐管尺寸：Φ60mmX1500mm

溫區(qū)長度：440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)

恒溫區(qū)長：260mm

工作溫度：1100℃

最高溫度：1200℃

溫控系統(tǒng)：30段PID微電腦可編程自動控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示）

控溫精度：±1℃

溫控保護：具有超溫和斷偶保護功能

加熱速率：0~20℃/分

加熱元件：合金加熱絲

工作電壓：AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制）

最大功率：3KW

氣密性：4.03*10-3Pa

用途：低成本進行快速熱處理。

特點：爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動，可以快速加熱和降溫。